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项目名称:昆明物理研究所电感耦合等离子化学气相沉积设备采购项目
招标项目编号:0653-204000001015
招标范围:货物名称: 电感耦合等离子化学气相沉积设备。 数量:1台。 简要技术规格:电感耦合等离子化学气相沉积设备主要由以下几部分组成:反应腔室、进样室、下电极、电感耦合等离子体ICP源(上电极)、射频电源、真空系统、预真空室、气路系统、控制系统与软件、配套附件等。该设备通过电感耦合(ICP)方式产生高密度等离子体,在化合物半导体衬底上沉积氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx)介质薄膜。 备注:具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
招标机构:云南招标股份有限公司
招标人:昆明物理研究所
开标时间:2020-07-03 09:30
公示开始时间:2020-07-09 10:51
评标公示截止时间:2020-07-13 23:59
中标候选人名单:
候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
---|---|---|---|
1 | 嘉华科技香港有限公司 | SENTECH Instruments GmbH | 德国 |
2 | 纳云电子有限公司 | Plasma-Therm | 美国 |
3 | 艾瑞科电子香港有限公司 | FHR Anlagenbau GmBH | 德国 |
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