广西城建咨询有限公司受广西民族大学委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，按照财政部门批准的政府采购计划（政府采购计划编号：201808270041），对ald原子层沉积系统采购进行竞争性谈判，欢迎符合条件的供应商前来参加谈判活动。

一、项目名称：ald原子层沉积系统采购

二、项目编号：gxzc2018-j1-19849-gxcj

三、采购内容：

原子层沉积系统包括5部分：压敏式进料系统、高精度热电控制平台、臭氧制备系统、真空控制系统、镀膜设备控制系统，每部分组成及其对应的技术参数如下：

d100-4882原子层沉积系统主要技术参数

(1)压敏式进料系统组成及技术参数

设备名称

设备组成

数目/个

技术参数

压敏式

进料系统

不锈钢进气管路

6

304不锈钢

独立式进料管路

6

304不锈钢

原子层沉积专用电磁阀门

6

工作压力：真空~145 psig (10bar)

爆破压力：3200 psig (220 bar)

执行压力：3.5~6.2 bar

温度：0~200 ℃

流量系数：0.62

阀体：316l vim-var不锈钢

隔膜材料：钴基超级合金

端接类型：vcr面密封接头

隔膜阀

2

工作压力：真空~250 psig (17bar)

爆破压力：3200 psig (220 bar)

执行压力：3.5~6.2 bar

温度：0~65℃

流量系数：0.27

阀体：316l不锈钢

隔膜材料：钴基超级合金

端接类型：vcr面密封接头

耐高温美式球阀

4

工作压力：真空~5.0 bar

温度：0~160℃

阀体材料：316l不锈钢

填料材料：聚四氟乙烯

端接类型：vcr面密封接头

端接尺寸：1/4英寸

开关模式：两通

三通

1

端接类型：vcr面密封接头

端接尺寸：1/4英寸

产品材料：316l不锈钢

工作压力：真空~17.0 bar

爆破压力：200 bar

温度：0~200 ℃

进料管柔性加热套

5

控温精度：室温~200 ℃，加热精度±0.3 ℃

加热功率：57 w

升温方式：设定程序控制

升温速率：1~10 ℃ /min

各温度段恒温时间：0~360天

进料管和进气管进行贴合式人性化设计，方便拆卸；分级式加热材料和保温套确保加热温度的均匀性

vcr接口

20

vcr接口，316l不锈钢

直通截止阀

1

两通，304不锈钢

直通球阀

1

两通，304不锈钢

(2)高精度热电控制平台组成及技术参数

设备名称

设备组成

数目

技术参数

高精度

热电控制

平台

一体式抗指纹不锈钢框架

1台

产品材质：304不锈钢

产品尺寸：685*705*955 mm

不锈钢厚度：2 mm

承重轮：静音、万向，材质为高弹性塑料和不锈钢

焊接方式：铆钉和无缝焊接

产品特征：特殊处理，抗指纹、抗腐蚀

处理方式：抛光

不锈钢板厚度：2 mm

放置方式：直立

承重：300 kg

全抛光型不锈钢反应器

1个

材质：304不锈钢

规格：圆形

反应器：内径为150 mm，基片尺寸为4英寸及以下

产品特点：盖子采用双层设计，并填充保温层

加热方式：浇铸电阻丝加热并导热

加热温度：室温~300 ℃；精度±0.3 ℃

高精度vcr不锈钢瓶

6个

瓶体材料：316l不锈钢

温度：0~200℃

端接类型：vcr面密封接头

端接尺寸：1/4英寸

工作压力：真空~5.0 bar

系统柔性加热套

1个

加热功率：270 w

控温精度：室温~200 ℃，加热精度±0.3 ℃

拆卸方式：分级式加热材料和保温套自由拆开，以保证加热的均匀性

各温度段恒温保持时间：0~360天

升温方式：设定程序控制

升温速率：1~10 ℃ /min

tksct螺母

8个

产品工艺：特殊洁净处理、无氧化、抛光

执行压力：3.5~5.2 bar

温度：0~200 ℃

产品材质：316l vim-var不锈钢

接口类型：vcr

接口尺寸：1/4英寸

(3)臭氧制备系统组成及技术参数

设备名称

设备组成

数目/个

技术参数

臭氧制备系统

高浓度臭氧发生器

1台

规格型号：jp-5g

额定臭氧流量：5 g/h

额定臭氧浓度：10-20 mg/l

额定功率：150 w

额定气源：氧气

额定气量：0.13-0.25 nm3/h

气源露点：＜–60 ℃

工作压力：0.095 mpa±5%

额定冷却水水量：0.02 m3/h

冷却水温度：＜30 ℃

输入电源：220 v/1 ph/50 hz

进出气接口规格：g1/8

进出水接口规格：g1/8

不锈钢气体管路

1

1) 配置o2/o3气体管路；

2) 采用316不锈钢；

3) 配置直通不锈钢球阀；

4) 自设计高重复性装置，控制精度±0.1sccm。

气体质量流量计

1

产品类型：高精度型，快响应型，数字型，低零漂及温漂型，抗电磁干扰

流量量程：(0~5，10，20，30，50，100，200，300，500) sccm,

(0~1，2，3，5，10，20，30，50) slm

产品精度：±0.35％f.s.(＜35% f.s.)及±1.0% s.p.(≥35% f.s.)

重复精度：±0.2% fs

线性：±0.5% f.s.

响应时间：≤1sec

工作温度范围：(5~45) ℃

耐压：3 mpa

密封材料：氟橡胶viton

输入输出信号：(0~5) vdc，(0~20) ma，(4~20) ma，rs-485，devicenet，profibus

电源：±15v，24v，±8~±16 vdc 或 +14~+28 vdc

阀类型：常开(流量量程≤30 slm) 或常闭

温度系数：span: ≤±0.1% f.s./℃（≤30slm）,zero: ≤±0.05% f.s./℃

零点飘移指标：＜0.6% f.s.

电气连接：profibus，d sub 15 pins male，d sub 9 pins male，devicenet male

工作压差范围：(0.05～0.35) mpa（f.s.≤10 slm），(0.1～0.35) mpa（10 slm≤f.s.≤30 slm），(0.2～0.45) mpa（30 slm＜f.s.）

漏率：1×10-9 atm•cc/sec he（1×10-10 pa•m3/sec he）

表面化学成分：无

表面粗糙度：25 µinch

抗电磁干扰：ce

vcr垫片

4个

接口类型：vcr

材质：ni

臭氧制备系统

vcr焊接接头

4个

接口类型：vcr

材质：316l不锈钢

适用接口尺寸：1/4英寸

工艺：高真空，抛光，无氧化

vcr螺母

5个

接口类型：vcr

材质：316l不锈钢

适用接口尺寸：1/4英寸

工艺：高真空，抛光，无氧化

(4)真空控制系统组成及技术参数

设备名称

设备组成

数目/个

技术参数

真空控制系统

知名品牌真空泵

1

抽速：4l/s

极限压力：可达到9×10-4mbar

配备kf快接接口，方便装卸

不锈钢气动角座阀

1

容易安装：气控头可以作360°的旋转，甚至限位开关也可以 360°旋转。可以方便地安装一到二个限位开关。

气动控制器：加厚工程塑料外壳，安全可靠。低磨损的活塞结构，易运行，耗气量低。内部无件自润滑，免维护。

具有多种控制方式：常开、常闭、双动。

要求更小的气动执行器：流体从阀杆上方流入时，可选更小的控制头。

容易连接：mamur标准连接，嵌入式金属接头。

长寿命导杆：阀杆契形特氟隆（ptee）密封，避免脏物导入。自润滑，免维护。阀杆经特别处理以确保最佳固定，并能自动校正位置。

油雾过滤器

1

组成：油雾过滤器、尾气吸附肼、kf系列快接接口

材质：304不锈钢

功能：用于吸附过量的反应物并保护真空泵

不锈钢管路

1

材质：304不锈钢波纹管

管径：30 mm

长度：1 m

适用气体：压缩空气、高纯/普通氮气/氩气/氧气、臭氧、硫化氢、有机分子等

(5)镀膜设备控制系统组成及技术参数

设备名称

设备组成

数目

技术参数

镀膜设备控制系统

电磁阀岛

1个

气动控制线路：采用电磁阀岛，可由电脑程序控制8路气动原件执行开关动作，且多种模式可选

最大标准额定流量：400 l/min

工作压力：-0.9 ~10 bar

阀位的最大数量：8

压力区的最大数目：2

环境温度：-5~50 ℃

防护等级：ip65

额定尺寸：4 mm

驱动类型：电气

密封原则：软性

阀岛型号：10

设计结构：活塞滑块

阀岛结构：固定模块宽度

信号状态显示：led

额定工作电压：dc 24 v

关于工作和先导介质的说明：可以使用经过润滑的压缩空气(一旦使用后要求一直使用经过润滑的压缩空气)

抗震性：运输应用测试，强度等级2，符合fn 942017-4和en 60068-2-6标准

耐冲击性：冲击试验，强度等级2，符合fn 942017-5和en 60068-2-27标准

储藏温度：-20~40 ℃

介质温度：-5~50 ℃

数字气体流量计

1个

产品类型：高精度型，快响应型，数字型，低零漂及温漂型，抗电磁干扰

流量量程：(0~5，10，20，30，50，100，200，300，500) sccm,

(0~1，2，3，5，10，20，30，50) slm

产品精度：±0.35％f.s.(＜35% f.s.)及±1.0% s.p.(≥35% f.s.)

重复精度：±0.2% fs

线性：±0.5% f.s.

响应时间：≤1sec

工作温度范围：(5~45) ℃

耐压：3 mpa

密封材料：氟橡胶viton

输入输出信号：(0~5) vdc，(0~20) ma，(4~20) ma，rs-485，devicenet，profibus

电源：±15v，24v，±8~±16 vdc 或 +14~+28 vdc

阀类型：常开(流量量程≤30 slm) 或常闭

温度系数：span: ≤±0.1% f.s./℃（≤30slm）,zero: ≤±0.05% f.s./℃

零点飘移指标：＜0.6% f.s.

电气连接：profibus，d sub 15 pins male，d sub 9 pins male，devicenet male

工作压差范围：(0.05～0.35) mpa（f.s.≤10 slm），(0.1～0.35) mpa（10 slm≤f.s.≤30 slm），(0.2～0.45) mpa（30 slm＜f.s.）

漏率：1×10-9atm•cc/sec he（1×10-10 pa•m3/sec he）

表面化学成分：无

表面粗糙度：25 µinch

抗电磁干扰：ce

8通道pid高精度温控系统

1套

采用厦门宇电控温表头，固态继电器输出，加热温度范围：室温~300℃，控温精度优于±0.3 ℃。

●控温表头参数：

支持四路可编程测量输入回路，类型固定为热电偶，各输入回路点点隔离，适合负极与外壳相连的热电偶；

使用高性能的元器件，大大降低温度漂移并使得各个通道之间相互干扰降低。

既可以独立使用，也可以和触摸屏或plc联机使用；

应用宇电公司新一代技术，使多路温控器达到与单回路仪表相当的精度与抗干扰能力；

输入数字校正，各输入回路均具备数字滤波，且滤波强度可以独立调整或取消滤波；

ssr电压输出，控制周期0.48～5秒可调；

先进的ai人工智能调节、自整定、自适应、控制精确稳定；

仪表功耗比用4台单回路仪表降低约75％。

●固态继电器参数：

额定电流：20a

额定工作电压：24~240 v

控制输入电压：3~32 v

控制输入电流：≤8 ma

关断电压：≥1.2 v

控制方式：过零触发

通态压降：≤1.2 v

漏电流：≤2 ma

反应时间：＜10 ms

安置方式：螺栓固定

绝缘强度：≥2500 v

绝缘电阻：≥100 m

电压指数上升率dv/dt：≥500 vus

工作指示：led灯

工作温度：-20~80℃

壳体：阻燃、绝缘

数字真空变送器

1个

模式：数字电阻真空计

通信方式：rs485通信

总线协议：modbus协议

测量范围：0.1~1 atm

软件控制系统

1套

1)预装windows笔记本电脑；

2)本设备由电脑程序进行控制，方便程序升级、更新、沉积工艺加载和保存；

3)沉积软件采用高度集成整合界面，可在同一界面方便的对沉积参数进行控制；

4)程序自动记录沉积参数（截屏保存）、气压、沉积线路等，利于长久保存、方便查询及故障检查；

5)流动和憋气两种模式可选，程序可任选两种模式中的一种，一键设定，方便可选；

6)沉积序列设置方便，可交替循环，实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的沉积；

7)程序设计有最高气压限制、温度范围限定，可防止cvd反应。

如需进一步了解详细内容，具体要求详见竞争性谈判文件。

四、采购预算金额（人民币）：叁拾捌万元整（¥ 380000.00）。

五、需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展暂行办法》（财库〔2011〕181号）、《节能产品政府采购实施意见》（财库〔2004〕185号）、《财政部 环保总局关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库〔2014〕68号)、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）。

六、谈判供应商资格要求：

1．符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2．国内注册（指按国家有关规定要求注册的）生产或经营本次采购内容，具备法人资格的供应商；

3. 未被“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网 (www.ccgp.gov.cn)等渠道列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

4.在规定时间内购买招标文件的供应商才有资格参与竞标。

本项目不接受联合体参加谈判。

七、竞争性谈判采购文件的获取：

1.发售时间：2018年9月19日至2018年9月25日止（正常工作日，每日9时00分至11时30分，15时00分至17时30分（北京时间，下同）；

2.发售地点：广西城建咨询有限公司（南宁市金湖南路31号三楼313室）；

3.竞争性谈判采购文件售价：每本工本费250元，售后不退，竞争性谈判文件不提供电子版、不代办邮寄。

4.获取竞争性谈判采购文件的方式：法定代表人携带本人身份证原件（或委托代理人携带本人身份证原件及加盖单位公章的法定代表人身份证复印件及授权书原件）、主体资格证明（如营业执照或事业单位法人证书等）副本复印件（加盖单位公章）至发售地点现场购买。

八、谈判保证金(人民币)：柒仟柒佰元整（¥7700.00）。

谈判供应商应于2018年9月26日17时00分前将谈判保证金以电汇、转帐等非现金形式交至以下账户。

开户名称：广西城建咨询有限公司

开户银行：建行南宁市民族大道东分理处

银行账号：4500 1604 6530 5070 3663

九、响应文件的递交：

谈判响应文件必须以密封形式于：2018年9月27日15时00分前递交至广西城建咨询有限公司六楼开标室（南宁市金湖南路31号六楼），逾期送达的将予以拒收。

十、谈判时间及地点：

2018年9月27日15时00分截标后为与供应商谈判时间，具体谈判时间由代理机构工作人员另行通知。地点：广西城建咨询有限公司六楼评标室（南宁市金湖南路31号六楼），供应商的法定代表人或委托代理人必须持有效证件（法定代表人身份证或委托代理人凭法人授权委托书原件和身份证）依时到达指定地点等候当面谈判。

十一、公告媒介：

中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn）、广西壮族自治区政府采购网（http://www.gxzfcg.gov.cn）。

十二、联系事项：

1.采购人名称：广西民族大学

地址：南宁市大学东路188号

联系人：陆老师联系电话：0771-3261396

2.采购代理机构名称：广西城建咨询有限公司

地址：南宁市金湖南路31号三楼

项目联系人：张翁毓联系电话：13978883093

3.政府采购监督管理部门：广西壮族自治区财政厅政府采购监督管理部门

电话：0771-5336893

采购代理机构：广西城建咨询有限公司

2018年9月19日